低溫等離子體是指在相對較低溫度（通常為室溫至幾百攝氏度）下產(chǎn)生的等離子體，因其在材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)及航太技術(shù)等領(lǐng)域的獨特優(yōu)勢而備受關(guān)注。
鋇鎢電極通常由鎢（W）基體與鋇（Ba）化合物組成，鎢的高熔點與穩(wěn)定性，疊加鋇的低逸出功特性，賦予鋇鎢電極優(yōu)異的電子發(fā)射性能和高耐久性，成為低溫等離子體應(yīng)用中的關(guān)鍵元件。
鋇鎢電極在低溫等離子體中的具體應(yīng)用
1. 電子發(fā)射源
鋇鎢電極在低溫等離子體中常被用作電子發(fā)射源。由於其低逸出功，它能在較低電壓下高效發(fā)射電子，從而產(chǎn)生並維持穩(wěn)定的等離子體。一般應(yīng)用在（1）等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）：用於製備薄膜材料，如半導(dǎo)體器件中的絕緣層或保護層；（2）等離子體刻蝕：通過等離子體中的活性粒子對材料表面進行精確刻蝕，廣泛應(yīng)用於微電子加工。
2. 等離子體診斷
鋇鎢電極還可用於等離子體參數(shù)的測量與診斷。通過分析電極的電流-電壓特性，可以推算出等離子體的密度和溫度等關(guān)鍵參數(shù)。其高穩(wěn)定性和耐久性使其特別適合長時間運行的實驗或工業(yè)系統(tǒng)。
3. 氣體放電燈
在氣體放電燈（如螢光燈或高壓氣體放電燈）中，鋇鎢電極常用作陰極。其低逸出功和高穩(wěn)定性能夠提供穩(wěn)定的電子流，改善燈的啟動性能並延長使用壽命。
4. 等離子體推進器
在航太領(lǐng)域，低溫等離子體技術(shù)被應(yīng)用於推進器系統(tǒng)中。鋇鎢電極作為電子源，説明產(chǎn)生和維持等離子體，推動離子或等離子體噴射，從而實現(xiàn)高效推進。這種應(yīng)用在微型衛(wèi)星和深空探測中具有潛在價值。
